光刻機用冷水機組的安裝要求有哪些

光刻機用冷水機組的安裝要求有哪些

　　為確保光刻機用冷水機組的靠譜及正常運行，防止不適當的水配管路施工造成的冷水機故障，安裝本機組時(shí)應注意下列事項：

　　光刻機用冷水機組的電源注意事項

　　1、光刻機用冷水機組電源采用三相四線(xiàn)、電源線(xiàn)接電源火線(xiàn)，接零線(xiàn)，（G）接地線(xiàn)。

　　2、光刻機用冷水機組用主電源線(xiàn)線(xiàn)電控箱上的穿孔連接在箱內接柱上，保證連接緊固。

　　3、機組配電要求：主電源電壓：額定電壓范圍以?xún)取?/font>

　　4、主電源電壓波動(dòng)超過(guò)規定范圍時(shí)，不準起動(dòng)冷水機、否則視作操作不當，由此引起的損壞不在本公司保養范圍之內。

　　5、水系統之水流開(kāi)關(guān)、水泵、冷卻水塔電機等聯(lián)鎖電路必要時(shí)可正確連接在機組控制電路中。

　　6、光刻機用冷水機組設有電流過(guò)載保護、壓縮機排氣端之高低壓保護，馬達線(xiàn)圈過(guò)熱保護、防冰保護，冷卻水之水流連鎖保護等多種措施，切勿擅自改動(dòng)、如需改動(dòng)請與廠(chǎng)家聯(lián)絡(luò )。

　　光刻機用冷水機組的安裝注意事項

　　1、吊運安裝光刻機用冷水機組時(shí)注意不要損壞機組，合理布局光刻機用冷水機組周?chē)臻g，以方便維修保養光刻機用冷水機組。

　　2、按照對配管系統設計及施工安裝的要求，合理設計和安裝凍水及冷卻水系統，以充分發(fā)揮光刻機用冷水機組性能。

　　3、機組應水平放置，及安裝在通風(fēng)位置。

　　4、根據機組制冷能力選用匹配的冷卻塔。

　　5、機組配管請參照本公司建議之配管方法安裝施工。

　　6、水源及散熱水塔周?chē)h(huán)境惡劣時(shí)，冷凍水和冷卻水回路須安裝Y型過(guò)濾器及定時(shí)清理，封閉冷凍水系統較高處須安裝自動(dòng)排氣閥、系統較低處安裝排水接頭，以系統排水用。

7、冷凍水管路系統通過(guò)試漏后，包保溫層，避免冷量散失及管路滴水。